奖种:科学技术进步奖
项目名称:第三代半导体用高均匀高致密TaC涂层石墨件制备技术及应用
提名单位: 长沙经济技术开发区
提名等级: 一等奖
主要完成人:
  1. 戴煜
  2. 谭兴龙
  3. 张洁
  4. 吴建
  5. 张池澜
  6. 许鹏
  7. 杨树
  8. 王艳艳
  9. 林源
  10. 肖乐
  11. 刘志坚
  12. 戴斌
主要完成单位:
  1. 湖南顶立科技股份有限公司
  2. 湖南三安半导体有限责任公司
  3. 南昌大学
  4. 湖南中科顶立技术创新研究院有限公司
湖南省科学技术奖励工作办公室