奖种:科学技术进步奖
项目名称:6英寸SiC芯片制造核心装备关键技术攻关与应用
提名单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
提名等级: 一等奖或二等奖
主要完成人:
  1. 彭立波
  2. 巩小亮
  3. 袁卫华
  4. 胡凡
  5. 罗才旺
  6. 孙勇
  7. 林伯奇
  8. 徐松
  9. 巴赛
  10. 王迪平
  11. 周立平
  12. 陈国钦
主要完成单位:
  1. 长沙半导体工艺设备研究所(中国电子科技集团公司第四十八研究所)
  2. 北京烁科中科信电子装备有限公司
湖南省科学技术奖励工作办公室