奖种:
科学技术进步奖
项目名称:
6英寸SiC芯片制造核心装备关键技术攻关与应用
提名单位:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
提名等级:
一等奖或二等奖
主要完成人:
彭立波
巩小亮
袁卫华
胡凡
罗才旺
孙勇
林伯奇
徐松
巴赛
王迪平
周立平
陈国钦
主要完成单位:
长沙半导体工艺设备研究所(中国电子科技集团公司第四十八研究所)
北京烁科中科信电子装备有限公司
湖南省科学技术奖励工作办公室